往復式真空泵(又稱活塞式真空泵)屬于低真空獲得設備，用以從內部壓力等于或低于一個大氣壓的容器中抽除氣體，被抽氣體的溫度一般不超過35C。往復泵的極限壓力，單級為4×10～10Pa，雙級可達1Pa。它的排氣量較大，抽速范圍15～5500L/S。往復泵多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空結晶、真空過濾等方面抽除氣體。 　　

往復式真空泵對于抽除腐蝕性或含有顆粒狀灰塵的氣體是不適用的。被抽氣體中如果含有灰塵，在泵的進口處必須加裝過濾器。

往復泵有干式和濕式之分。干式泵只能抽氣體，濕式泵可抽氣體和液體的混合物。二者在結構方面沒有什么原則性的不同，只是濕式泵內的死空間和配氣機構的尺寸比干式泵大一些，因此濕式泵的極限壓力要比干式泵的高。往復泵有臥式和立式兩種型式(國產為W和WLW型)。立式泵從結構和性能上較為先進，它是臥式泵的更新換代產品。